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04 芯片制造所用純水,怎么制造? 從大的尺度說,分三個步驟:預處理、初***純化、拋光系統。 (1)預處理:MMF+ACF(常規處理方式)、MF+UF(新型處理方式) MMF:多介質過濾器,可通俗理解成篩子; ACF:活性炭過濾器; MF:微濾,可通俗理解成細篩子; UF:超濾,可通俗理解成更細的篩子。 本段基本對應前面說的“純化的***層次”,水中的細微顆粒等非電解質基本被去除干凈了。 (2)初***純化:2B3T+RO+MB(常規處理方式)、二***RO+EDI(新型處理方式) 2B3T:兩床三塔,可通俗理解成家用終端凈水器; RO:反滲透膜,可通俗理解成更更細的篩子; EDI:連續電解除鹽,名字已經夠通俗了。 本段基本對應前面說的“純化的第二層次”,去除了水中的幾乎全部電解質與非電解質,且水中陽離子和陰離子、有機物、顆粒物、微生物等含量受到一定控制。 (3)拋光系統:UV+MB+MDG+UF UV:紫外線消毒; MB:混床; MDG:膜脫氣裝置,通過膜將溶解于水中的氣體脫除。 終端UF:終端超濾。 本段基本對應前面說的“純化的第三層次”,水中陽離子、陰離子、有機物、顆粒物、微生物都得到了嚴格控制,就連水中的溶解氣體也被嚴格控制。這時的水幾乎純凈到了*** 05 上面這些設備,我國到底哪些做不好?
目前,這些技術設備均需向上述國外企業購買,假如沒有這些,我們就制造不出電阻率18.2 MΩ·cm(25℃)的超純水,進而就制造不出高端芯片。各位看官明白為什么水會卡芯片的脖子啦。這事還不算完。 06 就算上面的全有了,我們還不能算成功 原因在于,即使我們制造出這樣的超純水,我們怎么輸送到每個芯片生產車間、機臺呢?需要管道,而普通管道內壁會向水中溶出物質的。你想想,那么純凈的超純水,溶入一點點物質,恐怕我們前面的努力都白費了。而且,管道上還需要有閥門,泵送水也需要水泵加壓,同理,泵、閥的內腔材料同樣要求嚴苛。
07 這還不算完…… 就算我們把上面的工藝設備、水泵、閥門、管道統統搞定了,還是不算完結。進一步的問題在于,我們制出的超純水,如何知道它合格呢?如何知道其中各項指標達標了呢?對了,我們還需要超高精度的檢測儀表,好讓我們知道超純水是否合格。相應的:
08 不要氣餒,我們國產設備也一直在努力! 自建國以來,我國產業升***,是從農業到輕工業,再到重工業,從勞動密集型到技術密集型,總體從低到高,不斷進步的;仡櫼酝,我們征服了一座又一座看似不可逾越的山峰。芯片制造***域,也同樣是我們未來需要征服的一座“高峰”。近年來,我國的民族企業也在不斷進步,杰出代表包括:
當前我國正處于產業結構調整的關鍵期,高端制造行業突破的根本,尤其需要基礎研究(材料學、基礎物理、基礎化學,等)自力更生、扎實積累、創新突破!同時,工業水處理的重要性也異常凸顯。工業超純水,就如同 “工業血液”一般珍貴。 我們每一位水行業人,都應懂得我們使命光榮,重任在肩! |
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